安徽羿清节能环保科技有限公司

恶臭废气处理、有机废气处理一站式服务的高新技术环保企业

工业VOCs治理

您的当前位置:首页 > 解决方案 > 工业VOCs治理 > 电子行业废气处理方案

电子行业废气处理方案
电子行业废气处理方案

背景

半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一;同时,在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如醋酸丁酯等在晶片处理过程中也要挥发到大气中,是有机废气产生的又一来源。半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。

羿清综合解决方案

羿清环保团队专注污水站恶臭废气治理20余年,擅长医药化工领域污水站废气治理,尤其煤焦化,石化、医药案例多,工艺路线成熟,系统运行稳定。所有项目均采用全流程管控,提供技术图纸、质量检测报告、废气检测报告,验收报告等资料,确保按时按质交付。

羿清综合解决方案


羿清优势